除合成過(guò)程中產(chǎn)生的雜質(zhì)外，空氣、水、礦物油等少量雜質(zhì)也可能混入氣體充裝過(guò)程中，這些雜質(zhì)含有一定的有毒物質(zhì)。六氟化硫在以下四種情況下會(huì )產(chǎn)生毒性:

1、電氣設備中的SF6氣體在高溫電弧作用時(shí)會(huì )產(chǎn)生一些有毒物質(zhì)。

舉例來(lái)說(shuō)：電弧中SF6氣體的分解與氧氣的反應：會(huì )產(chǎn)生氟化亞硫酰、四氟化硫酰、氟化硫酰等有毒物質(zhì)。

2、電氣設備中的六氟化硫氣體分解物與水發(fā)生化學(xué)反應，產(chǎn)生一些有毒產(chǎn)物。例如，氫氟酸、二氧化硫、硫酸等。由SF6氣體分解物與水的繼發(fā)反應產(chǎn)生。

3、電氣設備中的SF6氣體、分解物和電極(Cu-W 合金)和金屬材料(AL、Cu)反應產(chǎn)生一些有毒物質(zhì)。例如：六氟化硫氣體和分解物與電極或其它材料發(fā)生反應： ALF3(固體粉)ALF3(固體粉)CuF2(固體粉) 等固態(tài)粉末

4、電氣設備中的SF6氣體和分解物與絕緣材料發(fā)生反應，產(chǎn)生一些有毒產(chǎn)物。例如，含有硅成分的絕緣件，如環(huán)氧酚醛玻璃絲布板(棒、管)；或環(huán)氧樹(shù)脂澆注件、模壓件、瓷瓶、硅橡膠和硅脂，以石英砂和玻璃為填料，產(chǎn)生SiF4。、Si2F2等產(chǎn)品(CH3)。

這些高溫分解六氟化硫氣體的產(chǎn)物會(huì )導致六氟化硫氣體的毒性。購買(mǎi)時(shí)，首先要避免，找正規廠(chǎng)家購買(mǎi)，并附上產(chǎn)品檢測報告。因此，為了保證純度和質(zhì)量，制定了六氟化硫的質(zhì)量標準，要求制造商在供應時(shí)提供生物試驗無(wú)毒證書(shū)。