合成過(guò)程中產(chǎn)生的雜質(zhì)外，六氟化硫氣體還可以在氣體填充過(guò)程中與少量空氣、水、礦物油和其他雜質(zhì)混合，這些氣體具有或將產(chǎn)生某些有毒物質(zhì)。因此，為確保純度和質(zhì)量，已為供應的六氟化硫制定了質(zhì)量標準，制造商有義務(wù)在交付時(shí)出示生物測試無(wú)毒證書(shū)。

1、電氣設備發(fā)生高溫電弧時(shí)，SF6氣體會(huì )產(chǎn)生一些有毒物質(zhì)。

例如，SF6氣體在電弧中的分解以及與氧氣的反應會(huì )產(chǎn)生有毒物質(zhì)，如含硫氟化物、含硫四氟和含硫氟化物。

2、電器中六氟化硫氣體的分解產(chǎn)物與其中的水發(fā)生反應，產(chǎn)生一些有毒產(chǎn)物。例如，SF6氣體降解產(chǎn)物與水之間的二次反應產(chǎn)生氫氟酸、二氧化硫、硫酸等。

3.SF6氣體和電氣設備中的分解產(chǎn)物與電極（銅鎢合金）和金屬材料（鋁、銅）反應，產(chǎn)生一些有毒產(chǎn)物。例如，六氟化硫氣體和分解產(chǎn)物與電極或其他材料反應：AlF3（固體粉末）、AlF3（固體粉末）、CuF2（固體粉末）和其他固體粉末

4.SF6氣體和電氣設備中的分解產(chǎn)物與絕緣材料發(fā)生反應，產(chǎn)生一些有毒產(chǎn)品。如絕緣部分用環(huán)氧酚醛玻璃纖維布板（棒、管），含硅；或環(huán)氧樹(shù)脂鑄件、模塑件、瓷瓶、硅橡膠、硅脂等。以石英砂和玻璃為填料，起化學(xué)作用，生產(chǎn)SiF4、Si（CH3）2F2等產(chǎn)品。

上述六氟化硫氣體高溫分解產(chǎn)物導致六氟化硫氣體純度不純的問(wèn)題。