六氟化硫氣體或再生氣體的含水量必須嚴格控制，不得超過(guò)國家規定的標準。高純六氟化硫在運行過(guò)程中含水量可能較高，但仍不能超過(guò)六種氣體運行的國家標準限值。在再次充氣氣瓶之前，必須重新測量?jì)Υ姘肽暌陨系臍馄康奈⑿『?。按照國家標準，高純六氟化硫氣體的含水量不得超過(guò)8ppm。

改善六氟化硫氣體高壓電器在組裝、維護和檢查過(guò)程中的環(huán)境條件，監測環(huán)境濕度，施工現場(chǎng)濕度不得超過(guò)80%。為了保持設備中絕緣部件和部件的清潔度，安裝和維護人員必須遵守相關(guān)工藝要求，并在施工現場(chǎng)進(jìn)行組裝和維護。如果絕緣部件表面有污垢，絕緣電阻會(huì )降低到幾個(gè)數量級，從而大大降低絕緣部件的表面放電應力。

通過(guò)實(shí)驗和理論分析發(fā)現，如果絕緣體表面沒(méi)有降低絕緣電阻的污垢，冷凝液本身就不能有效地提高表面的絕緣能力。換言之，絕緣部件的表面必須在組裝和維護過(guò)程中保持清潔。丙酮可用于組裝前清潔表面，絕緣部件的表面在使用過(guò)程中也需要經(jīng)常清潔。對六氟化硫氣體管道而言，需要適當的維護。為了防止水分進(jìn)入設備，必須在充氣前仔細清洗管道。

水對高純六氟化硫氣體和設備有重要影響。氣體中的水分含量直接影響氣體的絕緣電阻水平和設備的安全性。在設備中，必須嚴格控制氣體中的微量水分含量。只有將六氟化硫氣體中的微量水分含量控制在國家標準規定的范圍內，才能減少水分對六氟化硫氣體和設備的影響，保證氣體的絕緣強度穩定，保證設備的安全運行。